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微波等離子清洗機，設備結構由五部分組成：外殼框架系統(tǒng)、微波放電系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)和控制系統(tǒng)。該設備控制方式為工控機+PLC，操作方式包括自動模式和手動模式，在自動模式下將不同工藝參數按照配方方式管理，可同時存儲50組不同的配方。設備設計有工作氣體耗盡報警、壓縮空氣壓力低于設定值報警、泵熱過載報警、反應倉泄露率過大報警等安全功能。

微波等離子清洗作為一種綠色無污染的高精密干法清洗方式，可以有效去除表面污染物，避免靜電損傷。微波等離子清洗與低頻或射頻放電產生的等離子體相比，相對于前兩者，微波等離子清洗機的優(yōu)點在于：（1）無內部電極，可避免放電污染，能量轉換效率高，可產生大范圍的高密度等離子體；（2）無損傷工藝，自偏壓極小；（3）高電子密度，制備各種功能薄膜材料的速率較快；（4）離子沖擊小，對器件的損傷??；（5）不產生紫外線輻射。

正是因為具有以上優(yōu)點，微波等離子在一些工藝中具有不可替代性，例如一些電敏感器件制程中的去膠和清洗。由于激發(fā)頻率高，離子動能小，化學等離子作用在微波等離子中占主要部分，可以實現更均勻有效地清洗，在清洗中沒有物理等離子體所產生的物理沖擊和濺射現象，在高可靠性要求的器件尤其是敏感電路的制程清洗過程中，微波等離子清洗機成為關鍵首選的設備。